公开(公告)号：US5322258A

公开(公告)日：1994-06-21

申请号：US634154

申请日：1990-12-11

申请人： Dieter Bosch ,  Helmut Seidel ,  Gunter Muck

发明人： Dieter Bosch ,  Helmut Seidel ,  Gunter Muck

IPC分类号： F15C5/00 ,  F16K99/00 ,  F16K31/08

CPC分类号： F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0051 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0094 ,  F16K99/0034

摘要： A micromechanical actuator is suggested, the movable part of which, such as the diaphragm, the bending bar or a similar device, can be moved relative to a stationary part by a combination of electromagnetic and electrostatic forces. The manufacturing techniques and the applications of the actuator are described. The construction is very compact, that is, highly integrated.

摘要翻译： PCT No.PCT / EP90 / 00634 Sec。 371 1990年12月11日第 102（e）1990年12月11日的PCT PCT 1990年4月19日提交PCT公布。 第WO90 / 13750号公报 日期为1990年11月15日。建议使用微机械致动器，其可动部分，例如隔膜，弯曲杆或类似装置，可通过电磁和静电力的组合相对于静止部件移动。 描述了制造技术和致动器的应用。 施工非常紧凑，即高度整合。