公开(公告)号：US5098190A

公开(公告)日：1992-03-24

申请号：US390192

申请日：1989-08-07

申请人： Geert J. Wijntjes ,  Michael Hercher

发明人： Geert J. Wijntjes ,  Michael Hercher

IPC分类号： G01D5/38

CPC分类号： G01D5/38

摘要： A metrology system includes means for generating an interference fringe pattern as a function of a parameter to be measured, transducer apparatus for simultaneously generating three intensity-modulated optical signals, I.sub.R, I.sub.S and I.sub.T, that are related to the interference fringe pattern; signal processing apparatus for accurately determining an aspect of the interference fringe pattern from the three signals; means for accumulating phase information proportional to the aspect of the interference fringe pattern; and means for converting the accumulated phase and aspect information to desired outputs indicative of the parameter to be measured.

摘要翻译： 计量系统包括用于产生作为待测量参数的函数的干涉条纹图案的装置，用于同时产生与干涉条纹图案相关的三个强度调制光信号IR，IS和IT的换能器装置; 信号处理装置，用于从三个信号中精确地确定干涉条纹图案的一个方面; 用于累积与干涉条纹图案的方面成比例的相位信息的装置; 以及用于将累积相位和方位信息转换成指示要测量的参数的期望输出的装置。