公开(公告)号：US20130136858A1

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：US13305936

申请日：2011-11-29

申请人： Gyanendra DUTT ,  Dung PHAN ,  YounSang KIM ,  Elizabeth HOANG

发明人： Gyanendra DUTT ,  Dung PHAN ,  YounSang KIM ,  Elizabeth HOANG

IPC分类号： B05D5/10 ,  B05C11/08 ,  B05C11/04 ,  B05D1/40

CPC分类号： B05C11/1039 ,  B05C11/08

摘要： A spin coating apparatus for applying adhesive to a substrate includes: a rotatable chuck configured to receive and hold a substrate thereon; a nozzle positioned above the rotatable chuck and configured to dispense the adhesive onto a surface of the substrate; a containment pan surrounding the rotatable chuck and configured to contain excess adhesive; a collection container in fluid communication with the containment pan; and a removal device positioned within the containment pan configured to direct the excess adhesive into the collection container.

摘要翻译： 用于将粘合剂施加到基板上的旋涂装置包括：可旋转卡盘，其构造成在其上容纳和保持基板; 喷嘴，其位于所述可旋转卡盘上方并且被配置为将所述粘合剂分配到所述基板的表面上; 围绕可旋转卡盘并构造成容纳多余粘合剂的容纳盘; 与容纳盘流体连通的收集容器; 以及定位在容纳盘内的移除装置，其构造成将多余的粘合剂引导到收集容器中。