公开(公告)号：US20120173011A1

公开(公告)日：2012-07-05

申请号：US13072791

申请日：2011-03-28

申请人： Haibin YU ,  Aidong XU ,  Jilong ZHANG ,  Mingzhe LIU ,  Jingtao HU ,  Zheng LI

发明人： Haibin YU ,  Aidong XU ,  Jilong ZHANG ,  Mingzhe LIU ,  Jingtao HU ,  Zheng LI

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/4185 ,  Y02P90/18

摘要： A method of platformization of an equipment front end module of a semiconductor production system includes the steps of: establishing a subsystem management module, a communication interface module, a parse module, and a network communication module; directing the command by the communication interface module to the subsystem management module; analyzing the command by the subsystem management module and sending the command to the corresponding subsystem module; sending the command from the corresponding subsystem module to the controller of the equipment front end module through the network communication module; and analyzing message by the parse module, sending a feedback to the corresponding subsystem module, and then sending the feedback to the control system of the semiconductor production system through the communication interface module. The present invention provides a standardized software interface to standardize different IC equipment control systems and to enhance the production efficiency of the system.

摘要翻译： 一种半导体生产系统的设备前端模块的平台化方法，包括：建立子系统管理模块，通信接口模块，解析模块和网络通信模块; 将通信接口模块的命令引导到子系统管理模块; 分析子系统管理模块的命令并将命令发送到相应的子系统模块; 通过网络通信模块将相应子系统模块的命令发送到设备前端模块的控制器; 并通过解析模块分析消息，向对应的子系统模块发送反馈，然后通过通信接口模块将反馈发送到半导体生产系统的控制系统。 本发明提供了一种标准化的软件接口，用于标准化不同的IC设备控制系统并提高系统的生产效率。