公开(公告)号：US20130208371A1

公开(公告)日：2013-08-15

申请号：US13372141

申请日：2012-02-13

申请人： Hung-Hua LIN ,  Li-Cheng CHU ,  Ming-Tung WU ,  Yuan-Chih HSIEH ,  Lan-Lin CHAO ,  Chia-Shiung TSAI

发明人： Hung-Hua LIN ,  Li-Cheng CHU ,  Ming-Tung WU ,  Yuan-Chih HSIEH ,  Lan-Lin CHAO ,  Chia-Shiung TSAI

IPC分类号： G02B5/08 ,  B05D3/10 ,  B05D5/06

CPC分类号： G01N21/55 ,  G01N21/01 ,  G01N21/253 ,  G01N27/327 ,  G01N33/483 ,  G01N2021/0106 ,  G01N2201/0636

摘要： A method of forming of biological sensing structures including a portion of a substrate is recessed to form a plurality of mesas in the substrate. Each of the plurality of mesas has a top surface and a sidewall surface. A first light reflecting layer is deposited over the top surface and the sidewall surface of each mesa. A filling material is formed over a first portion of the first light reflecting layer. A stop layer is deposited over the filling material and a second portion of the first light reflecting layer. A sacrificial layer is formed over the stop layer and is planarized exposing the stop layer. A first opening is formed in the stop layer and the first light reflecting layer. A second light reflecting layer is deposited over the first opening. A second opening is formed in the second light reflecting layer.

摘要翻译： 形成包括衬底的一部分的生物感测结构的方法被凹进以在衬底中形成多个台面。 多个台面中的每一个具有顶表面和侧壁表面。 第一光反射层沉积在每个台面的顶表面和侧壁表面上。 在第一光反射层的第一部分上形成填充材料。 沉积在填充材料上的停止层和第一光反射层的第二部分。 牺牲层形成在停止层上并且被平坦化地暴露停止层。 在停止层和第一光反射层中形成第一开口。 第二光反射层沉积在第一开口上。 在第二光反射层中形成第二开口。