公开(公告)号：US20130034118A1

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：US13198484

申请日：2011-08-04

申请人： Igor Bragin ,  Oleg Melnikov ,  Timur Misyuraev ,  Andreas Targsdorf ,  Kai Schmidt

发明人： Igor Bragin ,  Oleg Melnikov ,  Timur Misyuraev ,  Andreas Targsdorf ,  Kai Schmidt

IPC分类号： H01S3/22

CPC分类号： H01S3/036 ,  H01S3/2253

摘要： An excimer laser includes a laser housing containing a lasing-gas mixture including a halogen. Contaminants including particulate matter and a metal halide vapor are generated in the lasing-gas mixture during operation of the laser. A gas-cleaning arrangement extracts lasing-gas mixture from the housing and passes the lasing-gas mixture through an electrode assembly. A repeatedly pulsed gas discharge is created in the electrode assembly by driving the electrode assembly with repeated high-power short-duration pulses. The pulsed discharge causes disintegration of the metal halide vapor and electrostatic trapping in the electrode assembly of the particulate matter and products of the metal halide disintegration.

摘要翻译： 准分子激光器包括含有包含卤素的激光气体混合物的激光器壳体。 在激光器的操作期间，在激光 - 气体混合物中产生包括颗粒物质和金属卤化物蒸气的污染物。 气体清洁装置从壳体中提取激光气体混合物，并将激光气体混合物通过电极组件。 通过用重复的大功率短脉冲脉冲驱动电极组件，在电极组件中产生反复脉冲的气体放电。 脉冲放电会导致金属卤化物蒸气的分解和颗粒物质的电极组件中的静电捕获以及金属卤化物的分解产物。