公开(公告)号：US06898007B2

公开(公告)日：2005-05-24

申请号：US10071099

申请日：2002-02-11

申请人： Jai Young Woo ,  Kyung Dae Kim ,  Jin Sung Kim ,  Young Goo Lee

发明人： Jai Young Woo ,  Kyung Dae Kim ,  Jin Sung Kim ,  Young Goo Lee

IPC分类号： G02B21/00 ,  G02B21/26 ,  H01L21/66

CPC分类号： G02B21/26 ,  G02B21/0016

摘要： A microscope for inspecting a semiconductor wafer includes an optical unit including objective lenses and oculars for observing the semiconductor wafer; a display unit for magnifying and displaying an image of the semiconductor wafer observed by the optical unit; a sample piece stage holding the semiconductor wafer; a stage moving unit for moving the semiconductor wafer in an x-axis direction, a y-axis direction or a z-axis direction; a stage rotation unit for rotating the semiconductor wafer in a horizontal direction; a stage tilting unit for tilting the semiconductor wafer; and a controller for controlling operation of the microscope.

摘要翻译： 用于检查半导体晶片的显微镜包括：包括用于观察半导体晶片的物镜和眼睛的光学单元; 用于放大和显示由光学单元观察到的半导体晶片的图像的显示单元; 保持半导体晶片的样品台; 用于在x轴方向，y轴方向或z轴方向上移动半导体晶片的台移动单元; 舞台旋转单元，用于在半个晶片的水平方向上旋转; 用于倾斜半导体晶片的平台倾斜单元; 以及用于控制显微镜的操作的控制器。