公开(公告)号：US07242995B1

公开(公告)日：2007-07-10

申请号：US10972643

申请日：2004-10-25

申请人： James E. Morgenson ,  Michael A. Bush ,  Donald A. Smith ,  Karel Stryczek ,  Michael V. Wood

发明人： James E. Morgenson ,  Michael A. Bush ,  Donald A. Smith ,  Karel Stryczek ,  Michael V. Wood

IPC分类号： F06F19/00

CPC分类号： G05B19/418 ,  G05B2219/31457 ,  G05B2219/32035 ,  G05B2219/45031 ,  G06Q10/06 ,  Y02P90/02

摘要： Architecture that facilitates management of a semiconductor and/or microelectronics manufacturing process. A manufacturing component in communication with the semiconductor and/or microelectronics process operates according to process conditions to output a product, which manufacturing component at least one of monitors and controls the process using modularized code. A rules engine component processes one or more rules in association with the modularized code to control the process conditions in realtime by balancing process efficiency criteria to arrive at an optimal result.

摘要翻译： 促进半导体和/或微电子制造过程的管理的架构。 与半导体和/或微电子过程通信的制造部件根据工艺条件进行操作以输出产品，该制造部件至少一个监视器使用模块化代码来控制该过程。 规则引擎组件处理与模块化代码相关联的一个或多个规则，以通过平衡过程效率标准来实现最佳结果来实时控制过程条件。