公开(公告)号：US07236328B2

公开(公告)日：2007-06-26

申请号：US09758939

申请日：2001-01-10

申请人： Jennifer Lu ,  Dennis Richard McKean ,  Cherngye Hwang ,  Shi Ning

发明人： Jennifer Lu ,  Dennis Richard McKean ,  Cherngye Hwang ,  Shi Ning

IPC分类号： G11B15/64

CPC分类号： G11B5/6005

摘要： The present invention relates to a method for producing a transducer slider. The method involves first coating a substrate with a radiation-sensitive layer and exposing the radiation-sensitive layer to radiation according to an intensity pattern. Preferably, the intensity pattern is provided using a grayscale mask. Once the image is developed into the radiation-sensitive layer, the image is transferred into the substrate to form a transducer slider having a surface profile comprising a tapered edge. In the alternative or in addition, the surface profile may comprise a rounded corner. The invention also relates to a structure for forming a transducer slider.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于制造换能器滑块的方法。 该方法包括首先用辐射敏感层涂覆基底，并根据强度图案将辐射敏感层暴露于辐射。 优选地，使用灰度掩模提供强度图案。 一旦将图像显影到辐射敏感层中，则将图像转移到基底中以形成具有包括锥形边缘的表面轮廓的换能器滑块。 在替代或另外，表面轮廓可以包括圆角。 本发明还涉及一种用于形成换能器滑块的结构。