公开(公告)号：US20070212481A1

公开(公告)日：2007-09-13

申请号：US11800910

申请日：2007-05-08

申请人： Jeong Park ,  O. Kwon

发明人： Jeong Park ,  O. Kwon

IPC分类号： B05D5/06

CPC分类号： B05C5/0254

摘要： An apparatus for fabricating a liquid crystal display panel includes a slit nozzle for applying a photo-resist liquid on a substrate, a nozzle driver for driving the slit nozzle, an air intake for inhaling air and/or impurities on the substrate through the slit nozzle before photo-resist is deposited on the substrate, and a gas supplier for supplying a gas through one or more channels in the slit nozzle to the substrate after the photo-resist is deposited on the substrate.

摘要翻译： 一种用于制造液晶显示面板的装置，包括：用于在基板上施加光致抗蚀剂液体的狭缝喷嘴，用于驱动狭缝喷嘴的喷嘴驱动器，用于通过狭缝喷嘴吸入基板上的空气和/或杂质的进气口 在光刻胶沉积在基板上之前，以及气体供应器，用于在将光致抗蚀剂沉积在基板上之后，通过狭缝喷嘴中的一个或多个通道将气体供应到基板。