公开(公告)号：US07171335B2

公开(公告)日：2007-01-30

申请号：US11019065

申请日：2004-12-21

申请人： Jin Liu ,  Pamula Jean Jones-Williams ,  Emily A. Donnelly ,  Jianglin Wang

发明人： Jin Liu ,  Pamula Jean Jones-Williams ,  Emily A. Donnelly ,  Jianglin Wang

IPC分类号： G21C17/00 ,  G06F15/00

CPC分类号： H01L22/20 ,  G01R31/2894 ,  Y10S707/99943

摘要： According to one embodiment, a method of analyzing semiconductor test data includes receiving a plurality of raw data entries from a testing system. Each raw data entry is associated with a test structure of a semiconductor device, and each raw data entry is uniquely identified by a name including a plurality of parseable fields. The plurality of data entries is parsed using a selected one of the plurality of parseable fields to identify a grouping of raw data entries. At least one reportable parameter indicative of the functionality of the test structures associated with the grouping of raw data entries is calculated, and the at least one reportable parameter is provided to a user.

摘要翻译： 根据一个实施例，分析半导体测试数据的方法包括从测试系统接收多个原始数据条目。 每个原始数据条目与半导体器件的测试结构相关联，并且每个原始数据条目由包括多个可解析字段的名称唯一地标识。 使用多个可解析字段中的所选择的一个解析多个数据条目以标识原始数据条目的分组。 计算指示与分组原始数据条目相关联的测试结构的功能的至少一个可报告参数，并且向用户提供至少一个可报告参数。