公开(公告)号：US09013018B2

公开(公告)日：2015-04-21

申请号：US13579459

申请日：2011-02-17

申请人： Joel W. Pankow ,  Gary J. Jorgensen ,  Kent M. Terwilliger ,  Stephen H. Glick ,  Nora Isomaki ,  Kari Harkonen ,  Tommy Turkulainen

发明人： Joel W. Pankow ,  Gary J. Jorgensen ,  Kent M. Terwilliger ,  Stephen H. Glick ,  Nora Isomaki ,  Kari Harkonen ,  Tommy Turkulainen

IPC分类号： H01L31/0203 ,  H01L31/048 ,  B32B17/10 ,  H01L31/049

CPC分类号： H01L31/0481 ,  B32B17/10018 ,  B32B2367/00 ,  H01L31/049 ,  Y02E10/50 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/3154 ,  Y10T428/31786

摘要： A moisture barrier, device or product having a moisture barrier or a method of fabricating a moisture barrier having at least a polymer layer, and interfacial layer, and a barrier layer. The polymer layer may be fabricated from any suitable polymer including, but not limited to, fluoropolymers such as polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN), or ethylene-tetrafluoroethylene (ETFE). The interfacial layer may be formed by atomic layer deposition (ALD). In embodiments featuring an ALD interfacial layer, the deposited interfacial substance may be, but is not limited to, Al2O3, AlSiOx, TiO2, and an Al2O3/TiO2 laminate. The barrier layer associated with the interfacial layer may be deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The barrier layer may be a SiOxNy film.

摘要翻译： 具有防潮层的防潮层，装置或制品，或至少具有聚合物层，界面层和阻挡层的防潮层的制造方法。 聚合物层可以由包括但不限于聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）或聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）或乙烯 - 四氟乙烯（ETFE）等含氟聚合物的任何合适的聚合物制成。 界面层可以通过原子层沉积（ALD）形成。 在具有ALD界面层的实施方案中，沉积的界面物质可以是但不限于Al 2 O 3，AlSiO x，TiO 2和Al 2 O 3 / TiO 2层压体。 与界面层相关的阻挡层可以通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）沉积。 阻挡层可以是SiO x N y膜。

公开(公告)号：US20130009264A1

公开(公告)日：2013-01-10

申请号：US13579459

申请日：2011-02-17

申请人： Joel W. Pankow ,  Gary J. Jorgensen ,  Kent M. Terwilliger ,  Stephen H. Glick ,  Nora Isomaki ,  Kari Harkonen ,  Tommy Turkulainen

发明人： Joel W. Pankow ,  Gary J. Jorgensen ,  Kent M. Terwilliger ,  Stephen H. Glick ,  Nora Isomaki ,  Kari Harkonen ,  Tommy Turkulainen

IPC分类号： B32B9/04 ,  B32B5/00 ,  B32B27/00 ,  B32B27/08 ,  H01L31/0203 ,  H01L21/31

CPC分类号： H01L31/0481 ,  B32B17/10018 ,  B32B2367/00 ,  H01L31/049 ,  Y02E10/50 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/3154 ,  Y10T428/31786

摘要： A moisture barrier, device or product having a moisture barrier or a method of fabricating a moisture barrier having at least a polymer layer, and interfacial layer, and a barrier layer. The polymer layer may be fabricated from any suitable polymer including, but not limited to, fluoropolymers such as polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN), or ethylene-tetrafluoroethylene (ETFE). The interfacial layer may be formed by atomic layer deposition (ALD). In embodiments featuring an ALD interfacial layer, the deposited interfacial substance may be, but is not limited to, Al2O3, AlSiOx, TiO2, and an Al2O3/TiO2 laminate. The barrier layer associated with the interfacial layer may be deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The barrier layer may be a SiOxNy film.

摘要翻译： 具有防潮层的防潮层，装置或制品，或至少具有聚合物层，界面层和阻挡层的防潮层的制造方法。 聚合物层可以由包括但不限于聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）或聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）或乙烯 - 四氟乙烯（ETFE）等含氟聚合物的任何合适的聚合物制成。 界面层可以通过原子层沉积（ALD）形成。 在具有ALD界面层的实施方案中，沉积的界面物质可以是但不限于Al 2 O 3，AlSiO x，TiO 2和Al 2 O 3 / TiO 2层压体。 与界面层相关的阻挡层可以通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）沉积。 阻挡层可以是SiO x N y膜。