公开(公告)号：US6015758A

公开(公告)日：2000-01-18

申请号：US140332

申请日：1998-08-26

申请人： Joong-il An ,  Kyung-su Kim ,  Jung-su Lim ,  Jung-ki Kim

发明人： Joong-il An ,  Kyung-su Kim ,  Jung-su Lim ,  Jung-ki Kim

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01L21/67017 ,  Y10S156/912

摘要： A method for stripping a film from a wafer substrate includes the steps of inserting a boat holding the wafer into a processing chamber of a CVD apparatus, and injecting gas into the chamber, to thereby strip the wafer of its film. A typical film requiring stripping is a polysilicon film grown on an underlying oxide layer of the substrate. In this case, CIF.sub.3 is used to strip the polysilicon film without damaging the oxide layer. Accordingly, this method is applicable to the quality testing of semiconductor wafer films using a test wafer. In such quality testing a film is formed on a test wafer substrate at the same time the semiconductor wafer film is formed. The film of the test wafer is tested to evaluate the quality of the formation of the semiconductor wafer film. The test wafer can then be stripped within the chemical vapor deposition apparatus and thus can be reused soon thereafter.

摘要翻译： 从晶片基板剥离膜的方法包括将保持晶片的舟状物插入CVD装置的处理室中并将气体注入到室中从而剥离其膜的晶片的步骤。 需要剥离的典型膜是在基底的下面的氧化物层上生长的多晶硅膜。 在这种情况下，CIF3用于剥离多晶硅膜而不损坏氧化物层。 因此，该方法适用于使用测试晶片的半导体晶片膜的质量测试。 在这种质量测试中，在形成半导体晶片膜的同时，在测试晶片衬底上形成膜。 测试测试晶片的膜以评估半导体晶片膜的形成质量。 然后可以在化学气相沉积设备内剥离测试晶片，因此可以在此之后重新使用。

公开(公告)号：US5159252A

公开(公告)日：1992-10-27

申请号：US491599

申请日：1990-03-12

申请人： Kyung-su Kim

发明人： Kyung-su Kim

IPC分类号： G05B19/042 ,  G05B19/12 ,  G11B15/02 ,  G11B15/665

CPC分类号： G11B15/026 ,  G05B19/0426 ,  G05B19/122

摘要： A multifunction mechaposition expanding controlling apparatus and method thereof are provided which can expand and control the mechaposition according to the number of the function as many as the desired numbers by rotating, above 360.degree., having the program switch of a rotary type of the multifunction electronic machineries having a deck.The apparatus comprises a microcomputer, a capstan motor and a loading motor, a program switch of a rotary type, a deck and a motor driving portion.

摘要翻译： 提供了一种多功能机箱扩展控制装置及其方法，其可以通过在360度以上的旋转式多功能电子设备的程序切换，根据所需数量多达多达所需数量的功能来扩展和控制机箱 有甲板的机器。 该装置包括微型计算机，主导轴马达和加载马达，旋转型程序开关，甲板和马达驱动部分。

公开(公告)号：US5594310A

公开(公告)日：1997-01-14

申请号：US946074

申请日：1992-09-18

申请人： Kyung-su Kim

发明人： Kyung-su Kim

IPC分类号： G05B19/042 ,  G05B19/12 ,  G11B15/02 ,  G11B15/665 ,  G05B19/06 ,  H04N5/783

CPC分类号： G11B15/026 ,  G05B19/0426 ,  G05B19/122

摘要： A multifunction mechaposition expanding controlling apparatus and method thereof are provided which can expand and control the mechaposition according to the number of the function as many as the desired numbers by rotating, above 360.degree., having the program switch of a rotary type of the multifunction electronic machineries having a deck. The apparatus comprises a microcomputer, a capstan motor and a loading motor, a program switch of a rotary type, a deck and a motor driving portion.

摘要翻译： 提供了一种多功能机箱扩展控制装置及其方法，其可以通过在360度以上的旋转式多功能电子设备的程序切换，根据所需数量多达多达所需数量的功能来扩展和控制机箱 有甲板的机器。 该装置包括微型计算机，主导轴马达和加载马达，旋转型程序开关，甲板和马达驱动部分。

公开(公告)号：US5113294A

公开(公告)日：1992-05-12

申请号：US396104

申请日：1989-08-21

申请人： Kyung-su Kim

发明人： Kyung-su Kim

IPC分类号： G11B15/02 ,  G04G15/00 ,  G05B15/02 ,  G11B31/00 ,  H04B1/20 ,  H04N5/76 ,  H04N5/765

CPC分类号： H04N5/765 ,  G04G15/006 ,  H04B1/20

摘要： An automatic control method for home appliances using a video tape recorder and a device thereof are disclosed, in which the device comprises one or more power source control means, a home automatization mode designation means, and a microcomputer; and the method comprises: a step of appointing power supply starting times and power supply ending times for the respective passively controlled apparatuses; a step of supplying the power source upon arrival of the power source supply time for a particular apparatus; and a step of disconnecting the power supply from a particular apparatus upon arrival of the power supply blocking time. According to the present invention, as many automatic controls of home appliances as the record-capable number of the programmed recordings of broadcasting programs are possible, and it is possible to use a part of the function for programmed recordings of broadcasting programs, and to use the remaining part of the function for automatic controls of home appliances.

摘要翻译： 公开了一种使用录像机及其装置的家用电器的自动控制方法，其中，所述装置包括一个或多个电源控制装置，家庭自动化模式指定装置和微计算机; 该方法包括：指定各被动控制装置的供电开始时间和供电结束时间的步骤; 在特定装置的电源供给时间到达时提供电源的步骤; 以及在电源阻塞时间到达时从特定装置断开电源的步骤。 根据本发明，作为广播节目的编程记录的记录数量的家用电器的许多自动控制是可能的，并且可以使用功能的一部分用于广播节目​​的编程记录，并且使用 家用电器自动控制功能的其余部分。