公开(公告)号：US20100071754A1

公开(公告)日：2010-03-25

申请号：US12388037

申请日：2009-02-18

申请人： Kai-Sheng CHANG ,  Nai-Tien OU ,  Tien-Szu CHEN

发明人： Kai-Sheng CHANG ,  Nai-Tien OU ,  Tien-Szu CHEN

IPC分类号： H01L31/052 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L31/022425 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

摘要： A manufacturing method of electrode of solar cell panel of the present invention comprises steps of providing a semiconductor substrate with an antireflection layer/a dielectric layer and a first metal layer in sequence, forming a first metal layer on the antireflection layer, projecting a pattern on the first metal layer by a laser beam to form a metal silicide on the semiconductor substrate in accordance with the outline of the pattern, removing the first metal layer by a chosen solution, forming a first electrode connecting to the metal silicide and exposed to a surface of the antireflection layer; and forming a second electrode on a surface of the semiconductor substrate opposite to the antireflection layer.

摘要翻译： 本发明的太阳能电池面板的电极的制造方法包括以下步骤：顺序地向半导体衬底提供防反射层/电介质层和第一金属层，在抗反射层上形成第一金属层，将图案投影在 所述第一金属层通过激光束根据所述图案的轮廓在所述半导体衬底上形成金属硅化物，通过所选择的溶液去除所述第一金属层，形成连接到所述金属硅化物并暴露于表面的第一电极 的抗反射层; 以及在与所述抗反射层相对的所述半导体衬底的表面上形成第二电极。