公开(公告)号：US20140320944A1

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：US14329347

申请日：2014-07-11

Applicant: MARADIN TECHNOLOGIES LTD

Inventor： Yoram LUBIANIKER ,  Raviv ERLICH ,  Matan NAFTALI ,  Adi BARAM

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/085 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/105 ,  H01F2007/068 ,  H02K33/16 ,  H02N1/008

Abstract: A Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) device for actuating a gimbaled element, the device comprising a symmetric electromagnetic actuator for actuating one degree of freedom (DOF) and a symmetric electrostatic actuator for actuating the second degree of freedom.

Abstract translation: 一种用于致动万向节元件的微机电系统（MEMS）装置，该装置包括用于致动一个自由度的对称电磁致动器（DOF）和用于致动第二自由度的对称静电致动器。