公开(公告)号：US3376138A

公开(公告)日：1968-04-02

申请号：US32882863

申请日：1963-12-09

申请人： MICHAEL NICHOLAS GILANO ,  IRVIN W. MARTENSON

发明人： NICHOLAS GILANO MICHAEL ,  MARTENSON IRVIN W

IPC分类号： G03F7/038

CPC分类号： G03F7/0388

公开(公告)号：US3376139A

公开(公告)日：1968-04-02

申请号：US53923666

申请日：1966-02-01

申请人： MICHAEL NICHOLAS GILANO ,  IRVIN W. MARTENSON ,  LAWRENCE H. OTT

发明人： NICHOLAS GILANO MICHAEL ,  MARTENSON IRVIN W ,  OTT LAWRENCE H

IPC分类号： G03F7/038

CPC分类号： G03F7/0388 ,  Y10S430/117