公开(公告)号：US06817104B2

公开(公告)日：2004-11-16

申请号：US10144750

申请日：2002-05-15

申请人： Makoto Kaneko ,  Hiroshi Morita ,  Yasuhito Nakamori ,  Masanobu Sugimine ,  Yoshiyuki Tomita

发明人： Makoto Kaneko ,  Hiroshi Morita ,  Yasuhito Nakamori ,  Masanobu Sugimine ,  Yoshiyuki Tomita

IPC分类号： B23Q1600

CPC分类号： B23Q1/34 ,  B23Q1/621

摘要： The speed and precision in positioning a moving table in the X-axis and Y-axis directions is enhanced dramatically. An X-Y stage apparatus is provided, in which a moving table is supported relative to a stationary base, with slight displacements made possible within the XY plane, and in which a component mounted and placed on the moving table can be positioned within the XY plane. The X-Y stage apparatus includes an elastic hinge that is flexible only in one or two direction among the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions, and rigid in directions of the other axes. The moving table is supported relative to the stationary base with slight displacements made possible in the XY plane, using an elastic deformation of each of the elastic hinges in the flexible direction. Furthermore, the moving table can be slightly displaced within the XY plane, using an X-axis linear motor, and a Y-axis linear motor.

摘要翻译： 移动台在X轴和Y轴方向定位的速度和精度大大提高。 提供了一种X-Y平台装置，其中移动台相对于固定基座被支撑，在XY平面内具有可能的微小位移，并且其中安装并放置在移动台上的部件可以位于XY平面内。 X-Y平台装置包括弹性铰链，其在X轴，Y轴和Z轴方向上在一个或两个方向上是柔性的，并且在另一个轴线的方向上是刚性的。 移动台相对于固定基座被支撑，在XY平面中可以使用弹性铰链在柔性方向上的弹性变形使其具有可能的微小位移。 此外，移动台可以使用X轴线性电动机和Y轴线性电动机在XY平面内稍微移位。