公开(公告)号：US06768553B2

公开(公告)日：2004-07-27

申请号：US10200204

申请日：2002-07-23

申请人： Mang Ou-Yang ,  Shin-Gwo Shiue ,  Shin-Maio Tseng ,  Kevin S.H. Kuo ,  Hsin-Chu Liu ,  I-Pen Chien ,  Jim Chung

发明人： Mang Ou-Yang ,  Shin-Gwo Shiue ,  Shin-Maio Tseng ,  Kevin S.H. Kuo ,  Hsin-Chu Liu ,  I-Pen Chien ,  Jim Chung

IPC分类号： G01B902

CPC分类号： G01B9/02012 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02063 ,  G01B2290/70 ,  G02B27/283

摘要： The present invention provides a continuous-zoom imaging device of an interferometer. Reflected lights of a reference plane and a test plane interfere with each other to generate an interference pattern. A collimation device converts a parallel light of the interference pattern into a convergent light. An optical path adjustment means guides the light to a polarizing beam splitter. A continuous-zoom device adjusts the magnification ratio of the interference pattern on the imaging passageway and to output an object image, which is then imaged on a charge-coupled device. The present invention can improve the quality of the interference pattern without using any rotating diffuser, and thus has the characteristics of reduced number of components, lowered cost, and shrunk volume. Besides, the present invention can utilize a joint device to connect the continuous-zoom device and an attenuator so as to achieve automatic light adjustment and convenient operation.

摘要翻译： 本发明提供一种干涉仪的连续变焦成像装置。 参考平面和测试平面的反射光线相互干涉以产生干涉图案。 准直装置将干涉图案的平行光转换成会聚光。 光路调节装置将光引导到偏振分束器。 连续变焦装置调整成像通道上的干涉图案的放大倍数并输出对象图像，然后将其成像在电荷耦合器件上。 本发明可以在不使用任何旋转扩散器的情况下提高干涉图案的质量，并且具有减少部件数量，降低成本和缩小体积的特性。 此外，本发明可以利用联合装置连接连续变焦装置和衰减器，以实现自动调光和方便的操作。