公开(公告)号：US20100271693A1

公开(公告)日：2010-10-28

申请号：US12429944

申请日：2009-04-24

申请人： Manuela Vidal Dasilva ,  Mónica Fernandez Perea ,  Juan Ignacio Larruquert Goicoechea ,  José Antonio Mendez Morales ,  José Antonio Aznarez Candao ,  José María Sanchez Orejuela

发明人： Manuela Vidal Dasilva ,  Mónica Fernandez Perea ,  Juan Ignacio Larruquert Goicoechea ,  José Antonio Mendez Morales ,  José Antonio Aznarez Candao ,  José María Sanchez Orejuela

IPC分类号： G02B5/20

CPC分类号： G02B5/208

摘要： A filter for extreme ultraviolet is disclosed. The filter may be formed by a multilayer structure comprising several layers of Yb and Al deposited on a substrate using thermal evaporation. The layers of Yb and Al may be separated by SiO layers, which may act as barriers avoiding interaction between the layers. The multilayer structure may be covered by a SiO protective layer.

摘要翻译： 公开了一种用于极紫外光的过滤器。 过滤器可以由多层结构形成，该多层结构包括使用热蒸发沉积在衬底上的几层Yb和Al层。 Yb和Al的层可以被SiO层分开，其可以用作避免层之间的相互作用的障碍。 多层结构可以被SiO保护层覆盖。