公开(公告)号：US20070276634A1

公开(公告)日：2007-11-29

申请号：US11685501

申请日：2007-03-13

申请人： Mark Smith ,  Robert Hardister ,  Mike Pochkowski ,  Amir Widmann ,  Elyakim Kassel ,  Mike Adel

发明人： Mark Smith ,  Robert Hardister ,  Mike Pochkowski ,  Amir Widmann ,  Elyakim Kassel ,  Mike Adel

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5009 ,  G03F1/44

摘要： Computer-implemented methods, carrier media, and systems for creating a metrology target structure design for a reticle layout are provided. One computer-implemented method for creating a metrology target structure design for a reticle layout includes simulating how one or more initial metrology target structures will be formed on a wafer based on one or more fabrication processes that will be used to form a metrology target structure on the wafer and one or more initial metrology target structure designs. The method also includes creating the metrology target structure design based on results of the simulating step.

摘要翻译： 提供了计算机实现的方法，载体介质和用于创建标线布局的计量目标结构设计的系统。 用于创建标线布局的计量目标结构设计的一种计算机实现的方法包括模拟如何在晶片上形成一个或多个初始计量目标结构，所述一个或多个初始计量目标结构将基于将用于形成计量目标结构的一个或多个制造过程 晶圆和一个或多个初始计量目标结构设计。 该方法还包括基于模拟步骤的结果创建计量目标结构设计。

公开(公告)号：US07925486B2

公开(公告)日：2011-04-12

申请号：US11685501

申请日：2007-03-13

申请人： Mark Smith ,  Robert Hardister ,  Mike Pochkowski ,  Amir Widmann ,  Elyakim Kassel ,  Mike Adel

发明人： Mark Smith ,  Robert Hardister ,  Mike Pochkowski ,  Amir Widmann ,  Elyakim Kassel ,  Mike Adel

IPC分类号： G06F17/50 ,  G02B23/10

CPC分类号： G06F17/5009 ,  G03F1/44

摘要： Computer-implemented methods, carrier media, and systems for creating a metrology target structure design for a reticle layout are provided. One computer-implemented method for creating a metrology target structure design for a reticle layout includes simulating how one or more initial metrology target structures will be formed on a wafer based on one or more fabrication processes that will be used to form a metrology target structure on the wafer and one or more initial metrology target structure designs. The method also includes creating the metrology target structure design based on results of the simulating step.

摘要翻译： 提供了计算机实现的方法，载体介质和用于创建标线布局的计量目标结构设计的系统。 用于创建标线布局的计量目标结构设计的一种计算机实现的方法包括模拟如何在晶片上形成一个或多个初始计量目标结构，所述一个或多个初始计量目标结构将基于将用于形成计量目标结构的一个或多个制造过程 晶圆和一个或多个初始计量目标结构设计。 该方法还包括基于模拟步骤的结果创建计量目标结构设计。