公开(公告)号：US2910039A

公开(公告)日：1959-10-27

申请号：US59285356

申请日：1956-06-21

Applicant: NAT RES CORP

Inventor： PATTON PAUL W ,  KELLY ROBERT H

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  H01L21/10

CPC classification number: H01L21/101 ,  C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  C23C14/56

公开(公告)号：US2909148A

公开(公告)日：1959-10-20

申请号：US60973656

申请日：1956-09-13

Applicant: NAT RES CORP

Inventor： PATTON PAUL W ,  KELLY ROBERT H ,  MACNEIL JAMES P

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/24 ,  C23C14/541