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发明申请
Spatial Light Modulator Using an Integrated Circuit Actuator and Method of Making and Using Same 有权
标题翻译：使用集成电路执行器的空间光调制器及其制作和使用方法

公开(公告)号：US20080231937A1

公开(公告)日：2008-09-25

申请号：US12132341

申请日：2008-06-03

申请人： Pradeep K. GOVIL , James G. Tsacoyeanes

发明人： Pradeep K. GOVIL , James G. Tsacoyeanes

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0858 , Y10S359/90

摘要： A spatial light modulator (SLM) includes an integrated circuit actuator that can be fabricated using photolithography or other similar techniques. The actuator includes actuator elements, which can be made from piezoelectric materials. An electrode array is coupled to opposite walls of each of the actuator elements is an electrode array. Each array of electrodes can have one or more electrode sections. The array of reflective devices forms the SLM.

摘要翻译： 空间光调制器（SLM）包括可以使用光刻或其它类似技术制造的集成电路致动器。致动器包括可由压电材料制成的致动器元件。电极阵列连接到电极阵列中每个致动器元件的相对壁。每个电极阵列可以具有一个或多个电极部分。反射装置的阵列形成SLM。