公开(公告)号：US20140375652A1

公开(公告)日：2014-12-25

申请号：US14148792

申请日：2014-01-07

Applicant: SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.

Inventor： In Su Jeon ,  Min Woo Kim ,  Kyung Pil Yang ,  Hyun Sik Choi ,  Hong Sik Yoon

IPC: G06T11/20 ,  G01R29/12

CPC classification number: G06T11/206 ,  G01R29/14

Abstract: An apparatus for measuring static electricity on a substrate includes a measuring unit, an information processing unit, and a display unit. The measuring unit measures first static electricity information from the substrate. The information processing unit calculates a static electricity distribution state of the substrate using the first static electricity information. The display unit displays a graphic image representing the static electricity distribution state. The information processing unit includes a calculating unit and a controller. The calculating unit estimates second static electricity information using the first static electricity information. The controller calculates the static electricity distribution state of the substrate using the first static electricity information and the second static electricity information.

Abstract translation: 用于在基板上测量静电的装置包括测量单元，信息处理单元和显示单元。 测量单元测量来自基板的第一静电信息。 信息处理单元使用第一静电信息来计算基板的静电分布状态。 显示单元显示表示静电分布状态的图形图像。 信息处理单元包括计算单元和控制器。 计算单元使用第一静电信息来估计第二静电信息。 控制器使用第一静电信息和第二静电信息计算基板的静电分布状态。