公开(公告)号：US20160078608A1

公开(公告)日：2016-03-17

申请号：US14692128

申请日：2015-04-21

Applicant: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.

Inventor： Ji-Hoon NA ,  Byung-Gook KIM ,  Hyuk-Joo KWON

IPC: G06T7/00

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/30148

Abstract: A reticle inspection apparatus includes a reticle, an image generator to generate images of a surface of the reticle, and an image processor to compare first and second images generated by the image generator. The first image is generated when a pellicle is not on the reticle and the second image is generated when the pellicle is on the reticle.

Abstract translation: 标线检查装置包括掩模版，图像发生器，用于生成掩模版的表面的图像;以及图像处理器，用于比较由图像发生器产生的第一和第二图像。 当防护薄膜组件不在掩模版上时产生第一图像，并且当防护薄膜组件在掩模版上时产生第二图像。