公开(公告)号：US20130251238A1

公开(公告)日：2013-09-26

申请号：US13671685

申请日：2012-11-08

Applicant: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.

Inventor： Hak-Seung HAN ,  Jin-Back PARK ,  In-Kyun SHIN

IPC: G06T7/00

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T7/337 ,  G06T2207/20224 ,  G06T2207/30148

Abstract: A method of aligning an object may include obtaining a first actual image of a first pattern on the object, setting the first actual image as a first reference image, obtaining a second actual image of a second pattern on the object, comparing the second actual image with the first reference image to obtain first relative position difference values of the second actual image with respect to the first reference image, and converting the first relative position difference values into first absolute position difference values with respect to a reference point on the object.

Abstract translation: 对准对象的方法可以包括获得对象上的第一图案的第一实际图像，将第一实际图像设置为第一参考图像，获得对象上的第二图案的第二实际图像，比较第二实际图像 利用第一参考图像获得第二实际图像相对于第一参考图像的第一相对位置差值，并且将第一相对位置差值相对于对象上的参考点转换为第一绝对位置差值。