公开(公告)号：US20150207290A1

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：US14540604

申请日：2014-11-13

申请人： STEVEN R.J. BRUECK ,  XIANG HE ,  STEVE BENOIT

发明人： STEVEN R.J. BRUECK ,  XIANG HE ,  STEVE BENOIT

IPC分类号： H01S3/102 ,  H01S5/125 ,  H01S5/34 ,  H01S3/08 ,  H01S5/343

CPC分类号： H01S3/1022 ,  H01S3/08009 ,  H01S5/041 ,  H01S5/1212 ,  H01S5/1231 ,  H01S5/125 ,  H01S5/3235 ,  H01S5/3422 ,  H01S5/34313

摘要： In some aspects of the present application, an apparatus for producing an interference pattern on a photosensitive portion formed on a surface of a sample is disclosed. The apparatus can include an optical system for providing interference between two coherent spherical wavefronts impinging on a thin-film photosensitive material formed on a surface of a sample, wherein a plane of the surface normal of the sample is arranged at an angle with respect to a plane defined by center propagation vectors of the two coherent spherical wavefronts; and one or more actuating elements operable to actuate one or more optical elements in the optical system, the sample, or both the one or more optical elements and the sample in one or more degrees of freedom to control a relative magnitude of a longitudinal and a transverse chirp of the interference pattern.

摘要翻译： 在本申请的一些方面，公开了一种用于在形成在样品表面上的感光部分上产生干涉图案的装置。 该装置可以包括光学系统，用于提供入射到形成在样品表面上的薄膜感光材料上的两个相干球面波前的干涉，其中样品的表面法线的平面相对于 由两个相干球面波前的中心传播矢量定义的平面; 以及一个或多个致动元件，其可操作以一个或多个自由度致动所述光学系统，所述样品或所述一个或多个光学元件和所述样品中的一个或多个光学元件，以控制纵向和纵向的相对幅度 横向啁啾的干涉图案。