公开(公告)号：US20150044797A1

公开(公告)日：2015-02-12

申请号：US14194015

申请日：2014-02-28

Applicant: Samsung Display Co. Ltd.

Inventor： Ji Young PARK ,  Gwan Ha KIM ,  Dong Il KIM ,  Sang Gab KIM

IPC: H01L27/12

CPC classification number: H01L27/1259 ,  G02F2001/134372

Abstract: A method of manufacturing a thin film transistor array substrate includes providing a plurality of gate lines and a plurality of data lines on a first substrate, providing an organic layer on the gate lines and the data lines, providing a first electrode on the organic layer, providing a passivation layer on the first electrode, providing a second electrode on the passivation layer, providing a first cover layer on the second electrode to cover the second electrode, providing a plurality of photosensitive layer patterns on the first cover layer, providing a plurality of first cutout patterns in the first cover layer and a plurality of second cutout patterns in the second electrode using the photosensitive layer patterns as an etch mask, and providing a plurality of third cutout patterns in the passivation layer using the first cover layer as an etch mask.

Abstract translation: 制造薄膜晶体管阵列基板的方法包括：在第一基板上设置多个栅极线和多个数据线，在栅极线和数据线上提供有机层，在有机层上提供第一电极， 在所述第一电极上提供钝化层，在所述钝化层上提供第二电极，在所述第二电极上提供第一覆盖层以覆盖所述第二电极，在所述第一覆盖层上提供多个感光层图案，提供多个 第一覆盖层中的第一切除图案和使用感光层图案作为蚀刻掩模的第二电极中的多个第二切割图案，并且使用第一覆盖层作为蚀刻掩模在钝化层中提供多个第三切除图案 。