公开(公告)号：US20070291244A1

公开(公告)日：2007-12-20

申请号：US11424173

申请日：2006-06-14

申请人： Shih-Ming CHANG ,  Wen-Chuan WANG ,  Chih-Cheng CHIN ,  Chi-Lun LU ,  Sheng-Chi CHIN ,  Hung Chang Hsieh

发明人： Shih-Ming CHANG ,  Wen-Chuan WANG ,  Chih-Cheng CHIN ,  Chi-Lun LU ,  Sheng-Chi CHIN ,  Hung Chang Hsieh

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/701

摘要： Disclosed is a lithography system. The lithography system includes a source designed to provide energy; an imaging system configured to direct the energy onto a substrate to form a predefined image thereon, and defining an optical axis; and an aperture incorporated with the imaging system, the aperture having a plurality of transmitting regions defined along radial axis not parallel to the optical axis, and each transmitting region operable to transmit the energy with adjustable intensity.

摘要翻译： 公开了一种光刻系统。 光刻系统包括设计用于提供能量的源; 成像系统，被配置为将能量引导到衬底上以在其上形成预定图像，并且限定光轴; 以及与成像系统结合的孔，所述孔具有沿着不平行于光轴的径向轴线限定的多个透射区域，并且每个透射区域可操作以以可调节的强度透射能量。

公开(公告)号：US20070156526A1

公开(公告)日：2007-07-05

申请号：US11468896

申请日：2006-08-31

申请人： Sheng-Chi CHIN ,  Shouh-Dauh Fred LIN ,  Lawrence CHEN ,  Chun-Mai LIU ,  Huang-Sheng LIN

发明人： Sheng-Chi CHIN ,  Shouh-Dauh Fred LIN ,  Lawrence CHEN ,  Chun-Mai LIU ,  Huang-Sheng LIN

IPC分类号： G06Q30/00

CPC分类号： G06Q30/0207 ,  G06Q30/02 ,  G06Q30/0217 ,  G06Q30/0235

摘要： A semiconductor coupon-service system, includes a coupon-service module for managing a semiconductor service; a coupon generator, in connection with the semiconductor service, for generating a coupon associated with the semiconductor service; and a coupon maintainer, in connection with the semiconductor service, for processing coupon operations associated with the coupon.

摘要翻译： 半导体优惠券服务系统包括用于管理半导体服务的息票服务模块; 与半导体服务相关的优惠券发生器，用于生成与半导体服务相关联的优惠券; 以及与半导体服务相关的息票维护者，用于处理与优惠券相关联的优惠券操作。