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发明申请
Carbon wire heating object sealing heater and fluid heating apparatus using the same heater 失效
标题翻译：碳丝加热对象密封加热器和使用相同加热器的流体加热装置

公开(公告)号：US20030180034A1

公开(公告)日：2003-09-25

申请号：US10395395

申请日：2003-03-25

申请人： TOSHIBA CERAMICS CO., LTD. , TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： Takanori Saito , Hiroshi Mori , Akira Otsu , Norihiko Saito , Hiroyuki Honma , Eiichi Toya , Tomio Konn , Tomohiro Nagata , Ken Nakao , Kazutoshi Miura , Harunari Hasegawa , George Hoshi , Katsutoshi Ishi , Sunao Seko

IPC分类号： H05B003/02

CPC分类号： H05B3/145 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

摘要： A carbon wire heating element sealing heater is provided. Therein, a carbon wire heating element using carbon fibers is sealed in a quartz glass member, wherein absorption water quantity of the carbon wire heating element is 2null10null3 g/cm3 or less.

摘要翻译： 提供碳丝加热元件密封加热器。其中，使用碳纤维的碳线加热元件密封在石英玻璃构件中，其中碳线加热元件的吸收水量为2×10 -3 g / cm 3以下。