公开(公告)号：US20090152785A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：US12066451

申请日：2006-08-25

申请人： Takehiko Komiya ,  Toshiyuki Osuga ,  Yasuhiko Kaku

发明人： Takehiko Komiya ,  Toshiyuki Osuga ,  Yasuhiko Kaku

IPC分类号： B23Q1/26 ,  B23Q1/44 ,  G12B5/00

CPC分类号： G05B19/4015 ,  G05B2219/50042

摘要： There is provided an alignment apparatus of rotating a table by translational driving to be able to operate the table in XYθ, Yθ, or θ accurately.4 pieces of drive systems for driving a table (4) mounted with an object (5) includes a translational freedom degree portion (11), a translational drive portion (12), and a rotational freedom degree portion (13), further, an alignment apparatus is made to be able to return to an original point by providing a motor (1) and a detecting apparatus (2) at a machine fixing apparatus (41), accurately fixing the table (4) by the machine fixing apparatus (41) by using a first positioning apparatus and a second positioning apparatus, and a first position fixing apparatus and a second position fixing apparatus, and storing a detecting apparatus reference position at a detecting apparatus reference position storing apparatus (44).

摘要翻译： 提供了一种通过平移驱动来旋转工作台以能够精确地操作XYθ，Yθ或θ的工作台的对准装置。 用于驱动安装有物体（5）的台（4）的4个驱动系统包括平移自由度部分（11），平移驱动部分（12）和旋转自由度部分（13），此外， 通过在机器定影装置（41）处设置电动机（1）和检测装置（2），通过机器定影装置（41）精确地固定工作台（4），使对准装置能够返回原点 ），第一定位装置和第二定位装置，以及第一定位装置和第二定位装置，并且在检测装置基准位置存储装置（44）处存储检测装置基准位置。

公开(公告)号：US07848832B2

公开(公告)日：2010-12-07

申请号：US11720271

申请日：2005-11-07

申请人： Takehiko Komiya ,  Toshiyuki Osuga ,  Toshihiro Sawa

发明人： Takehiko Komiya ,  Toshiyuki Osuga ,  Toshihiro Sawa

IPC分类号： G05B19/18 ,  G06F19/00

CPC分类号： B23Q1/44 ,  H01L21/682

摘要： To be able to restrain a height of a machine even when the machine is large-sized and smoothly move a table in XYθ directions.An alignment apparatus includes two translational freedom degree guide portion (13), one rotational freedom degree guide portion (12), a translational drive/translational/rotational freedom degree mechanism module (6) including a linear motor provided at one of the translational freedom degree guide portion (13), a machine base portion (7), a reference generator portion (8), a two-dimensional position sensor (9), a calculating portion of compensation value (10). At least three of the translational drive/translational/rotational freedom degree mechanism modules (6) are uniformly arranged to a table (4).

摘要翻译： 即使机器大型化，平滑地移动XY台面，也能够限制机器的高度; 方向。 一种定位装置包括两个平移自由度导向部分（13），一个旋转自由度导向部分（12），平移驱动/平移/旋转自由度机构模块（6），其包括设置在平移自由度 引导部分（13），机器基部（7），参考发生器部分（8），二维位置传感器（9），补偿值计算部分（10）。 平移驱动/平移/旋转自由度机构模块（6）中的至少三个均匀地布置到工作台（4）上。

公开(公告)号：US20080019817A1

公开(公告)日：2008-01-24

申请号：US11720271

申请日：2005-11-07

申请人： Takehiko Komiya ,  Toshiyuki Osuga ,  Toshihiro Sawa

发明人： Takehiko Komiya ,  Toshiyuki Osuga ,  Toshihiro Sawa

IPC分类号： B23Q1/26

CPC分类号： B23Q1/44 ,  H01L21/682

摘要： To be able to restrain a height of a machine even when the machine is large-sized and smoothly move a table in XYθ directions. An alignment apparatus includes two translational freedom degree guide portion (13), one rotational freedom degree guide portion (12), a translational drive/translational/rotational freedom degree mechanism module (6) including a linear motor provided at one of the translational freedom degree guide portion (13), a machine base portion (7), a reference generator portion (8), a two-dimensional position sensor (9), a calculating portion of compensation value (10). At least three of the translational drive/translational/rotational freedom degree mechanism modules (6) are uniformly arranged to a table (4).

摘要翻译： 即使机器大型化，平滑地移动台面，也能够限制机器的高度。 一种定位装置包括两个平移自由度导向部分（13），一个旋转自由度导向部分（12），平移驱动/平移/旋转自由度机构模块（6），其包括设置在平移自由度 引导部分（13），机器基部（7），参考发生器部分（8），二维位置传感器（9），补偿值计算部分（10）。 平移驱动/平移/旋转自由度机构模块（6）中的至少三个均匀地布置到工作台（4）上。