公开(公告)号：US20060231515A1

公开(公告)日：2006-10-19

申请号：US11403703

申请日：2006-04-13

申请人： Tze-Wei Chou

发明人： Tze-Wei Chou

IPC分类号： A47G19/08

CPC分类号： H01L21/67303 ,  H01L21/6734

摘要： A cassette (100) for accommodating substrates includes a frame (110) and supporting members (120). The frame includes a top shelf (111) and a bottom shelf (112), which cooperatively defines a space therebetween. The top and bottom shelves each include at least two adjusting members (114) with positioning slots (115). Each of the adjusting members includes a positioning slot and a plurality of keyways (116) in communication with the positioning slot. The supporting members oppositely disposed in the space, and at least one of them includes a pair of adjusting shafts (124) movable along the positioning slots and removeably engaging in the selected of the keyways of the adjusting members. With this configuration, it enables easy adjustment of the distance between opposite supporting members. In the adjusting process, no part need be detached from the cassette.

摘要翻译： 用于容纳衬底的盒（100）包括框架（110）和支撑构件（120）。 框架包括顶架（111）和底架（112），它们协同地限定它们之间的空间。 顶部和底部架子每个包括具有定位槽（115）的至少两个调节构件（114）。 每个调节构件包括定位槽和与定位槽连通的多个键槽（116）。 所述支撑部件相对地设置在所述空间中，并且其中的至少一个包括可沿着所述定位槽移动的一对调节轴（124），并且可移除地接合在所述调节构件的所述选定的所述键槽中。 利用这种构造，能够容易地调整相对的支撑构件之间的距离。 在调整过程中，没有任何零件需要从盒子上拆下。

公开(公告)号：US20060280586A1

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：US11443541

申请日：2006-05-30

申请人： Tze-Wei Chou

发明人： Tze-Wei Chou

IPC分类号： B66C23/00

CPC分类号： H01L21/68707

摘要： The present invention relates to a substrate conveyance apparatus (200). The apparatus includes a main frame (230), a substrate support device (240) and a base plate (210). The substrate support device includes robot blades (141a, 141b) and a holding chuck (145). The holding chuck is movably connected with main frame so as to hold the robot blades. The robot blades are comprised of two pair of plate-shaped members, and the base plate is used to support the main frame. The distance between one pair of plate-shaped members is different from that of the other pair of plate-shaped members. The substrate conveyance apparatus is used to load/unload the substrates with different sizes.

摘要翻译： 本发明涉及一种基板输送装置（200）。 该装置包括主框架（230），基板支撑装置（240）和基板（210）。 基板支撑装置包括机器人刀片（141a，141b）和保持卡盘（145）。 保持卡盘与主框架可移动地连接以保持机器人刀片。 机器人刀片由两对板状构件构成，基板用于支撑主框架。 一对板状构件之间的距离与另一对板状构件的距离不同。 基板输送装置用于对不同尺寸的基板进行加载/卸载。