公开(公告)号：US08553911B2

公开(公告)日：2013-10-08

申请号：US13665935

申请日：2012-11-01

Applicant: United Microelectronics Corporation

Inventor： Li-Che Chen

IPC: H04R7/02

CPC classification number: B81B3/0078 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  H04R7/06 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04

Abstract: A diaphragm of an MEMS electroacoustic transducer including a first axis-symmetrical pattern layer is provided. Because the layout of the first axis-symmetrical pattern layer can match the pattern of the sound wave, the vibration uniformity of the diaphragm can be improved.

Abstract translation: 提供了包括第一轴对称图案层的MEMS电声换能器的隔膜。 由于第一轴对称图案层的布局可以匹配声波的图案，所以可以提高隔膜的振动均匀性。