公开(公告)号：US06984332B2

公开(公告)日：2006-01-10

申请号：US10309566

申请日：2002-12-04

申请人： Vijay K. Varadan ,  Pascal B Xavier ,  William D. Suh ,  Jose A Kollakompil ,  Vasundara V Varadan

发明人： Vijay K. Varadan ,  Pascal B Xavier ,  William D. Suh ,  Jose A Kollakompil ,  Vasundara V Varadan

IPC分类号： H01L21/00 ,  G01P3/00

CPC分类号： G01C19/5698 ,  H03H9/02645 ,  H03H9/6486

摘要： A gyroscope comprises a piezoelectric substrate having a surface. Disposed on the surface are a resonator transducer, a pair of reflectors, a structure such as a metallic dot, and a sensor transducer. The resonator transducer creates a first surface acoustic wave on the surface. The pair of reflectors reflects the first surface acoustic wave to form a standing wave within a region of the surface between the pair of reflectors. The structure is disposed on the surface within the region, wherein a Coriolis force acting upon the structure creates a second surface acoustic wave. The sensor senses the second surface acoustic wave and provides an output indicative thereof.

摘要翻译： 陀螺仪包括具有表面的压电基片。 表面上设置有谐振器换能器，一对反射器，诸如金属点的结构和传感器换能器。 谐振器传感器在表面上产生第一声表面波。 一对反射器反射第一表面声波以在该对反射器之间的表面的区域内形成驻波。 该结构设置在区域内的表面上，其中作用在该结构上的科里奥利力产生第二表面声波。 传感器感测第二表面声波并提供表示其的输出。