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发明申请
METHOD FOR APPLYING A RESIST LAYER, USES OF ADHESIVE MATERIALS, AND ADHESIVE MATERIALS AND RESIST LAYER 有权
标题翻译：耐腐蚀层的使用方法，粘合材料的使用以及粘合材料和耐腐蚀层

公开(公告)号：US20110269073A1

公开(公告)日：2011-11-03

申请号：US13178710

申请日：2011-07-08

申请人： Werner Krõninger , Manfred Schneegans

发明人： Werner Krõninger , Manfred Schneegans

IPC分类号： G03F7/004

CPC分类号： G03F7/32 , G03F7/16 , G03F7/161 , G03F7/34

摘要： A method in which a resist layer is applied to a base layer is disclosed. The resist layer includes an adhesive material, and the adhesive force of the adhesive material decreases or increases during an irradiation process. Residues of the resist layer may be stripped using the disclosed method.

摘要翻译： 公开了将抗蚀剂层施加到基底层的方法。抗蚀剂层包括粘合剂材料，并且粘合剂材料的粘合力在照射过程中降低或增加。可以使用所公开的方法剥离抗蚀剂层的残留物。