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公开(公告)号：US20120091357A1
公开(公告)日：2012-04-19
申请号：US13331140
申请日：2011-12-20
IPC分类号： G01J1/42
CPC分类号： H01J40/02 , G03F7/70575 , G03F7/7085
摘要： A method for detecting radiation. The radiation detector includes a plurality of Faraday cups. Each Faraday cup being provided with a cover. Each cover comprising a window arrangement through which the radiation may pass into the Faraday cup. The window arrangement of each cover being different for each Faraday cup. Each Faraday cup housing a target configured to emit photoelectrons if the radiation is incident upon the target.
摘要翻译： 一种检测辐射的方法。 辐射检测器包括多个法拉第杯。 每个法拉第杯都配有一个盖子。 每个盖子包括一个窗口装置，辐射可通过该窗口装置进入法拉第杯。 每个盖子的窗口布置对于每个法拉第杯是不同的。 每个法拉第杯容纳目标，如果辐射入射在目标上，则其配置为发射光电子。
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2.发明申请公开(公告)号：US20120026477A1
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：US13169666
申请日：2011-06-27
IPC分类号： G03B27/42
CPC分类号： G03F7/706 , G01M11/0242 , G01M11/0264 , G03F7/70216 , G03F7/70591 , G03F7/70758 , G03F7/7085
摘要： An aberration detector for a lithographic apparatus is used. An imaging device captures an image of at least one pinhole feature of a target projected onto the imaging device by the projection system of the lithographic apparatus at two different locations separated in a direction parallel to the optical axis of the projection system. A controller obtains a representation of the aberration of the projection system from the captured images.
摘要翻译： 使用光刻设备的像差检测器。 成像装置通过光刻设备的投影系统在与投影系统的光轴平行的方向上分离的两个不同位置捕获投射到成像装置上的目标的至少一个针孔特征的图像。 控制器从捕获的图像获得投影系统的像差的表示。
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