公开(公告)号：US5742173A

公开(公告)日：1998-04-21

申请号：US737338

申请日：1996-11-18

申请人： Yoichi Nakagomi ,  Hidehito Yokomori ,  Shinji Iino ,  Satoshi Sano

发明人： Yoichi Nakagomi ,  Hidehito Yokomori ,  Shinji Iino ,  Satoshi Sano

IPC分类号： G01R1/067 ,  G01R1/04

CPC分类号： G01R1/06705

摘要： A substrate inspecting method has a step of previously storing as initial setting data the positional information of a mounting table on which the substrate is placed and the positional information of the probe, a calibration step of moving a first alignment member provided at a position away by a specified distance from the mounting table together with the mounting table, and aligning the first alignment member with a second alignment member fixed to a position away by a specified distance from the probe, a step of calculating a distance between the calibrated position and the mutual probe/pad contact position on the basis of the previously stored initial setting data, and moving the mounting table on the basis of the calculated results to position the pad at the probe, and a step of contacting the pad of the substrate on the mounting table with the probe, and sending a test signal to a pattern circuit on the substrate to inspect.

摘要翻译： PCT No.PCT / JP96 / 00699 Sec。 371日期：1996年11月18日 102（e）1996年11月18日日期PCT 1996年3月18日PCT公布。 公开号WO96 / 29607 日期1996年9月26日基板检查方法具有以下步骤：预先存储作为初始设置数据的放置基板的安装台的位置信息和探针的位置信息，移动第一对准构件的校准步骤 在与安装台一起离开安装台一定距离的位置处，并且将第一对准构件与固定到远离探测器一定距离的位置的第二对准构件对准;计算第二对准构件之间的距离的步骤; 基于先前存储的初始设定数据，根据计算结果移动安装台，将垫定位在探头上，并将接触垫的接触位置与步骤 用探头安装在安装台上的基板，并将测试信号发送到基板上的图案电路进行检查。

公开(公告)号：US5801764A

公开(公告)日：1998-09-01

申请号：US912647

申请日：1997-08-18

申请人： Hiroto Koizumi ,  Hidehito Yokomori

发明人： Hiroto Koizumi ,  Hidehito Yokomori

IPC分类号： G01R31/308 ,  G09G3/00 ,  H04N7/18 ,  H04N9/47

CPC分类号： G09G3/006 ,  G01R31/308

摘要： A monitor device for monitoring an object to be tested is provided in a test apparatus which includes a test section for testing the electrical characteristics of the object, a storage section for storing the object, and a transfer section for conveying the object between the storage section and the test section. This monitor device includes an imaging device used in alignment of the object in the test section, a sensor for sensing the position of the object in the transfer section, and a display panel for displaying an image of the interior of the test apparatus and displaying the alignment state in the test section and the position information of the object in the transfer section in the image of the test apparatus.

摘要翻译： 一种用于监测待测物体的监视装置，被设置在包括用于测试物体的电气特性的测试部分，用于存放物体的存储部分和用于在存储部分之间传送物体的传送部分的测试装置 和测试部分。 该监视器装置包括：成像装置，用于对准测试部分中的对象;传感器，用于感测传送部分中物体的位置;以及显示面板，用于显示测试装置内部的图像，并显示 测试部分中的对准状态和测试装置的图像中的传送部分中的对象的位置信息。