公开(公告)号：US08280693B2

公开(公告)日：2012-10-02

申请号：US12756980

申请日：2010-04-08

申请人： Young Dong Kim ,  Jin-Mo Chung ,  Seung-Ho Han

发明人： Young Dong Kim ,  Jin-Mo Chung ,  Seung-Ho Han

IPC分类号： H03F11/24 ,  G01B11/24 ,  G01N21/55

CPC分类号： G01N21/95607 ,  G01N21/8422 ,  G03F7/70625

摘要： There is provided a nondestructive analysis for a periodic structure. In the method, a virtual periodic structure is set and divided into a plurality of layers. By utilizing the Lippmann-Schwinger equation with an M-th order interpolation, physical properties related to reflectivity or transmittance of the virtual periodic structure are calculated. An M-th order interpolation formula employed in discretization of the Lippmann-Schwinger equation leads to an accurate and rapid calculation of the physical properties of the periodic structure.

摘要翻译： 为周期性结构提供了非破坏性分析。 在该方法中，将虚拟周期结构设置为多个层。 通过利用具有M阶插值的Lippmann-Schwinger方程，计算与虚拟周期结构的反射率或透射率相关的物理性质。 用于离散Lippmann-Schwinger方程的M阶插值公式导致周期性结构的物理性质的准确和快速的计算。