公开(公告)号：US6016217A

公开(公告)日：2000-01-18

申请号：US983119

申请日：1998-07-20

申请人： Wolfram Dotzel ,  Thomas Gessner ,  Ramon Hahn ,  Christian Kaufmann ,  Heinz-Ulrich Lowe ,  Joachim Markert ,  Manfred Rauch ,  Udo Wollmann

发明人： Wolfram Dotzel ,  Thomas Gessner ,  Ramon Hahn ,  Christian Kaufmann ,  Heinz-Ulrich Lowe ,  Joachim Markert ,  Manfred Rauch ,  Udo Wollmann

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0841

摘要： The invention refers to micro swivel actuators and a procedure for the manufacturing of the same. The micro swivel actuators consist basically of a semiconductor wafer equipped with three layers, which contains on the one hand individual mirrors with integrated springs and support elements as mechanical components and on the other hand electrodes, feeder lines and electrical contacts as electrical arrangements. The manufacturing of the micro swivel actuators utilizes procedure steps from the field of surface micromechanics, so that well-tried technologies are being applied. The micro swivel actuators, especially the micromechanical mirror arrays, are in particular suited for applications in the pictorial reproduction technique via laser beam. With these actuators, a laser beam can be directed by turning several parallel triggered individual mirrors.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE96 / 01177 Sec。 371日期：1998年7月20日 102（e）1998年7月20日PCT PCT 1996年6月26日PCT公布。 公开号WO97 / 02506 日期1997年1月23日本发明涉及微型旋转执行机构及其制造方法。 微型旋转执行器基本上由配备有三层的半导体晶片构成，其一方面包含具有集成的弹簧和支撑元件作为机械部件的单个反射镜，另一方面包含作为电气布置的电极，馈线和电触点。 微型旋转执行器的制造采用来自表面微机械学领域的程序步骤，因此正在应用经过验证的技术。 微型旋转致动器，特别是微机械镜阵列，特别适用于通过激光束的图示再现技术中的应用。 利用这些致动器，可以通过转动几个平行的触发的各个反射镜来引导激光束。