公开(公告)号：US06300294B1

公开(公告)日：2001-10-09

申请号：US09435416

申请日：1999-11-08

申请人： Roger A. Robbins ,  Simon Joshua Jacobs

发明人： Roger A. Robbins ,  Simon Joshua Jacobs

IPC分类号： C10M12991

CPC分类号： B81B7/0077 ,  B81B3/0075 ,  G02B26/0841

摘要： A method of dispensing a lubricant into a micromechanical device package and a micromechanical device package containing the lubricant. The method comprises the steps of mixing (102) the lubricant, typically a perfluoroalkanoic acid such as perfluorodecanoic acid with a suitable solvent, typically an ether solvent such as tetrahydrofuran or tert-butyl methyl ether. The mixture is allowed to equilibriate (104) before being filtered (106) to remove solid particles. The filtered solution is applied (108) to a surface that will be on the interior of the package, typically the ceramic substrate. The deposited mixture is then cured (110) to remove most, if not all, of the solvent, and the package is sealed (112).

摘要翻译： 将润滑剂分配到微机械装置包装中的方法和包含润滑剂的微机械装置包装。 该方法包括以下步骤：将润滑剂（通常为全氟链烷酸，例如全氟癸酸）与合适的溶剂（通常为醚溶剂如四氢呋喃或叔丁基甲基醚）混合（102）。 允许混合物平衡（104），然后过滤（106）以除去固体颗粒。 将过滤的溶液（108）施加到将在包装内部（通常为陶瓷基材）的表面上。 然后将沉积的混合物固化（110）以除去大部分（如果不是全部）溶剂，并且封装被密封（112）。