公开(公告)号：US5702522A

公开(公告)日：1997-12-30

申请号：US706502

申请日：1996-09-05

申请人： Kazuo Sakauchi ,  Yoshihiro Hirano ,  Akira Uchikawa

发明人： Kazuo Sakauchi ,  Yoshihiro Hirano ,  Akira Uchikawa

IPC分类号： C30B15/00 ,  F24F3/16 ,  F24F3/26

CPC分类号： F24F3/161 ,  C30B15/00 ,  F24F3/1607 ,  F24F11/0079 ,  Y02B30/746 ,  Y10S117/90 ,  Y10T117/10 ,  Y10T117/1004

摘要： A crystal puller cell (18) provides a low particulate environment for an individual crystal puller (28). The airflow within each cell is adjustable so that a particulate level appropriate to the activity within the cell is maintained, thereby avoiding the cost of maintaining an entire growing hall (10) at a constant high level of cleanliness. Each cell includes a multi-level floor (46) that includes an operator floor (48) and a maintenance floor (52). A door (62) at the maintenance floor level opens onto a maintenance aisle used to service the machines. A door (64), at the operator floor level, opens onto a clean aisle for transporting raw material and finished product. The cell walls can include magnetic shielding if a magnetic growing process is used to reduce exposure of operators and other machines to intense magnetic fields.

摘要翻译： 晶体拉出单元（18）为单个晶体拉出器（28）提供低的颗粒环境。 每个细胞内的气流是可调节的，使得保持适合于细胞内的活性的微粒水平，从而避免维持整个生长大厅（10）处于恒定的高清洁度水平的成本。 每个单元包括多层地板（46），其包括操作员楼层（48）和维护楼层（52）。 维护楼层的门（62）通向用于维修机器的维护通道。 在操作员楼层的门（64）打开一个干净的通道，用于运输原材料和成品。 如果使用磁力生长过程来减少操作者和其他机器对强磁场的暴露，则电池壁可以包括磁屏蔽。