公开(公告)号：WO2015142641A1

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：PCT/US2015/020417

申请日：2015-03-13

Applicant: BOARD OF REGENTS, THE UNIVRSITY OF TEXAS SYSTEM

Inventor： WILLSON, Carlton, Grant ,  ELLISON, Christopher ,  MAHER, Michael ,  BATES, Christopher ,  JANES, Dustin

IPC: G03F7/00 ,  C09D153/00

CPC classification number: G03F7/20 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  C09D153/00 ,  C09D153/005 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/11 ,  G03F7/16

Abstract: A method for ordering block copolymers including forming a first layer having a first preference mode; and providing a reactive agent in selected regions of the first layer that modifies the selected regions to a second preference mode, wherein the selected regions define other regions of the first layer retaining the first preference mode thereby forming an alignment layer for block copolymers.

Abstract translation: 一种用于排序嵌段共聚物的方法，包括形成具有第一偏好模式的第一层; 以及在第一层的选定区域中提供反应剂，其将所选择的区域修改为第二偏好模式，其中所选择的区域限定保持第一偏好模式的第一层的其它区域，从而形成嵌段共聚物的取向层。