公开(公告)号：WO2002067286A2

公开(公告)日：2002-08-29

申请号：PCT/EP2002/001553

申请日：2002-02-14

Applicant: LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH ,  ROSE, Harald ,  PREIKSZAS, Dirk ,  HARTEL, Peter

Inventor： ROSE, Harald ,  PREIKSZAS, Dirk ,  HARTEL, Peter

IPC: H01J37/05

CPC classification number: H01J37/153

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlsystem mit einer Teilchenquelle (1), einem Spiegelkorrektor (9, 21-25) und einem Objektiv (16). Der Spiegelkorrektor weist dabei einen elektrostatischen Spiegel (9) und im Strahlengang zwischen der Teilchenquelle (1) und dem elektrostatischen Spiegel (9) sowie zwischen dem elektrostatischen Spiegel (9) und dem Objektiv (16) einen magnetischen Strahlumlenker (21, 22, 23, 24, 25) auf. Der magnetische Strahlumlenker (21, 22, 23, 24, 25) ist für jeweils einfachen Durchgang dispersionsfrei. Weiterhin weist der magnetische Strahlumlenker (21, 22, 23, 24, 25) Quadrupole und/oder Quadrupolkomponenten auf, die derart bestimmt sind, dass auf dem gesamten Bahnverlauf zwischen dem erstmaligen Austritt aus dem magnetischen Strahlumlenker (21, 22, 23, 24, 25) und dem Objektiv (16) maximal zwei zur Beugungsebene (28) des Objektivs (16) konjugierte Ebenen auftreten.

Abstract translation: 本发明涉及包括粒子源（1），镜校正器（9,21-25）和透镜（16）的粒子束系统。 镜校正器具有在这种情况下的静电镜（9）和在粒子源（1）与静电反射镜之间的光路（9），以及所述静电镜（9）和所述透镜（16）包括一磁性光束偏转器（21，22，23之间， 24，25）。 磁束偏转器（21,22,23,24,25）对于每次单程不分散。 此外，磁束偏转器（21，22，23，24，25）四极和/或四极组件，这些组件被确定为使得（在第一出口之间的整个轨迹从磁性光束偏转器21，22，23，24， （16）共轭平面的衍射面（28）和物镜（16）中的最大值为2。

公开(公告)号：WO02067286A3

公开(公告)日：2002-11-07

申请号：PCT/EP0201553

申请日：2002-02-14

Applicant: LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH ,  ROSE HARALD ,  PREIKSZAS DIRK ,  HARTEL PETER

Inventor： ROSE HARALD ,  PREIKSZAS DIRK ,  HARTEL PETER

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/153

Abstract: The invention relates to a particle beam system comprising a particle source (1), a mirror corrector (9, 21-25), and an objective (16). The mirror corrector comprises an electrostatic mirror (9) and a magnetic beam deflector (21, 22, 23, 24, 25), which is arranged between the particle source (1) and the electrostatic mirror (9) as well as between the electrostatic mirror (9) and the objective (16). The magnetic beam deflector (21, 22, 23, 24, 25) is free from dispersions for each single pass. The magnetic beam deflector (21, 22, 23, 24, 25) also comprises quadrupoles and/or quadrupole components, which are provided in such a manner that a maximum of two planes, which are conjugated with regard to the diffraction plane (28) of the objective (16), occur on the entire path length between the first outlet from the magnetic beam deflector (21, 22, 23, 24, 25) and from the objective (16).

Abstract translation: 本发明涉及一种具有粒子源（1），反射镜校正器（9，21-25）和透镜（16）的粒子射线系统。 镜校正器具有在这种情况下的静电镜（9）和在粒子源（1）与静电反射镜之间的光路（9），以及所述静电镜（9）和所述透镜（16）包括一磁性光束偏转器（21，22，23之间， 24，25）。 磁性光束偏转器（21，22，23，24，25）是从分散液游离在每种情况下单次通过。 此外，磁束偏转器（21，22，23，24，25）四极和/或四极组件，这些组件被确定为使得（在第一出口之间的整个轨迹从磁性光束偏转器21，22，23，24， 最多两个（以衍射平面28）的透镜（16）的共轭平面发生25）和所述透镜（16）。