公开(公告)号：WO2018007136A1

公开(公告)日：2018-01-11

申请号：PCT/EP2017/064872

申请日：2017-06-19

Applicant: HELMHOLTZ-ZENTRUM DRESDEN - ROSSENDORF E. V.

Inventor： KLINGNER, Nico ,  HELLER, René ,  HLAWACEK, Gregor ,  FACSKO, Stefan ,  VON BORANY, Johannes ,  WILHELM, Richard, Arthur

IPC: H01J37/08 ,  H01J27/24 ,  H01J37/28

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Ionenmikroskopievorrichtung mit einer Ionenquelle zum Erzeugen eines Ionenstrahls, einem Detektor, einer Spannungsquelle und einem Photonenpuls-Generator, wobei die Ionenmikroskopievorrichtung zum Bestrahlen eines Objekts mit dem Ionenstrahl unter Erzeugung von Wechselwirkungsteilchen ausgebildet ist, wobei die Ionenquelle eine Gasionisationskammer, eine in derselben angeordnete spitzenförmige Elektrode und eine Gegenelektrode aufweist, der Detektor zum Erfassen der Wechselwirkungsteilchen dient, die Spannungsquelle zum Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen die Elektrode und die Gegenelektrode dient, und der Photonenpuls-Generator zum Erzeugen von in die Ionisationskammer gerichteten Photonenpulsen derart dient, dass mittels eines Photonenpulses ein Ionenpuls erzeugbar ist, wobei die Ionenmikroskopievorrichtung zum Erfassen der Zeitspanne zwischen einem Photonenpuls und dem Erfassen der Wechselwirkungsteilchen, die von dem mittels dieses Photonenpulses erzeugten Ionenpuls generiert sind, durch den Detektor ausgebildet ist.

Abstract translation:

本发明涉及具有离子源，用于产生离子束，检测器，电压源和光子脉冲发生器，其中所述离子显微镜装置被设计用于照射的对象与所述离子束以产生相互作用颗粒的离子显微镜装置，其特征 离子源是气体电离室，在同一个布置spitzenf＆oUML;具有形电极和反电极，所述检测器用于检测所述相互作用粒子被使用，用于施加电极和反电极之间的电电压的电压源被使用，并且用于在所述光子脉冲发生器 引导光子脉冲电离室被用来使得由一个光子脉冲的装置，可产生离子脉冲，其中，用于检测的光子脉冲和检测的相互作用的颗粒之间的时间段的离子显微镜装置，其由d的手段 这个光子脉冲产生的离子脉冲是由探测器产生的。