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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO1991002375A1
公开(公告)日：1991-02-21
申请号：PCT/EP1990000611
申请日：1990-04-17
IPC: H01J41/18
CPC classification number: H02N11/006 , B05B5/16 , F04D33/00 , H01J41/18
Abstract: An electrostatic pump has two electrodes (13) spaced at a distance apart essentially in the direction of flow through the pump. A potential can be applied to the electrodes (13) in order to inject an ion current between them. The pump is further microminiaturized by arranging two semiconductor bodies (10) one above the other in the direction of flow through the pump. The semiconductor bodies are structured in such a way that the electrodes (13) form an integral component of the semiconductor bodies (10).
Abstract translation: 静电泵具有两个电极（13），其间隔开的距离基本上在通过泵的流动方向上。 为了在它们之间注入离子电流，可以对电极（13）施加电位。 通过在流过泵的方向上一个在另一个上方布置两个半导体本体（10），使泵进一步微小化。 半导体体的结构使电极（13）形成半导体本体（10）的一体成分。
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公开(公告)号：WO2016002320A1
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：PCT/JP2015/062082
申请日：2015-04-21
Applicant: 国立研究開発法人情報通信研究機構
Inventor： 田中 秀吉
Abstract: 中心軸方向のサイズを小型化したイオンポンプを含む超高真空作成装置を提供する。 超高真空作成装置（１）は，少なくとも一つのイオンポンプ（１００）を備える。イオンポンプ（１００）は，少なくとも一つの開口（１１１，１１２）を有するケーシング（１１０）と，ケーシング（１１０）の内部に配置され所定の中心軸（Ｃ）に沿って中心開口（１２０ａ）が形成されているとともに複数の電極（１２１）が間隔を空けて連結することにより形成された盤状の電極群（１２０）と，ケーシング（１１０）の内部のうち電極群（１２０）を両側から挟む位置に配置され電極群（１２０）とは極性が異なる一対の盤状電極（１３１，１３２）と，一対の盤状電極（１３１，１３２）を両側から挟む位置に配置された一対の盤状磁石（１４１，１４２）と，を備える。
Abstract translation: 提供了一种含有在中心轴方向上具有紧凑尺寸的离子泵的超高真空成形装置。 超高真空成型装置（1）设置有至少一个离子泵（100）。 离子泵（100）设置有：具有至少一个开口（111,112）的壳体（110）; 通过沿着设置在壳体（110）内的预定中心轴线（C）形成的中心开口（120a）形成的板状电极组（120）和多个电极（121），其间连接有间隙 ; 一对具有与所述电极组（120）不同的极性的板状电极（131,132），并且设置在所述壳体（110）内夹着所述电极组（120）的两侧的位置。 以及一对板状磁体（141,142），其设置在夹着所述一对板状电极（131,132）的两侧的位置。
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公开(公告)号：WO2004061889A3
公开(公告)日：2004-09-30
申请号：PCT/US0337878
申请日：2003-11-25
Applicant: VARIAN INC
Inventor： PERKINS CHARLES , MANLEY BARRY
CPC classification number: H01J41/18
Abstract: An ion pump includes one or more anode pump cells (120a-120n), a cathode (124, 126) positioned in proximity to the one or more anode pump cells and a magnet assembly (140) for producing a magnetic field in the one or more anode pump cells. An electric field is applied between the cathode and the one or more anode pump cells. The magnet assembly includes primary magnets (142, 144) of opposite polarities disposed on opposite ends of the anode pump cells and secondary magnets (160-166) disposed on opposite sides of the anode pump cells. The magnet assembly may further include a magnet yoke (150) which provides a magnetic flux return path. The magnet assembly produces a substantially uniform axial magnetic field in the one or more anode pump cells.
Abstract translation: 离子泵包括一个或多个阳极泵电池（120a-120n），位于一个或多个阳极泵电池附近的阴极（124,126）和用于在一个或多个阳极泵电池内产生磁场的磁体组件（140） 更多的阳极泵电池。 在阴极和一个或多个阳极泵浦电池之间施加电场。 磁体组件包括设置在阳极泵电池的相对端的相反极性的主磁体（142,144）和设置在阳极泵电池的相对侧上的次级磁体（160-166）。 磁体组件还可以包括提供磁通返回路径的磁轭（150）。 磁体组件在一个或多个阳极泵电池中产生基本均匀的轴向磁场。
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公开(公告)号：WO0180281A3
公开(公告)日：2002-08-22
申请号：PCT/US0111111
申请日：2001-04-06
Applicant: TOKYO ELECTRON LTD , DANDL RAPHAEL A , QUON BILL H
Inventor： DANDL RAPHAEL A , QUON BILL H
CPC classification number: H01J41/18
Abstract: A stand-alone plasma vacuum pump for pumping gas from a low-pressure inlet to a high-pressure outlet, composed of: a housing enclosing one or more pumping regions located between the inlet and the outlet; a plurality of permanent magnet assemblies providing magnetic fields that extend in the pumping region between the inlet and the outlet, the magnetic field forming magnetic flux channels for guiding and confining plasmas; elements disposed for coupling microwave power into the flux channels to heat electrons, ionize gas, and accelerate plasma ions in a direction from the inlet to the outlet; elements disposed for creating an electric in the magnetic flux channels to accelerate ions in the flux channels toward the outlet by momentum transfer; and a differential conductance baffle proximate to the outlet for promoting flow of plasma ions and neutral atoms to the outlet while impeding flow of neutral gas molecules in a direction from the outlet toward the inlet.
Abstract translation: 一种独立的等离子体真空泵，用于将气体从低压入口泵送到高压出口，所述等离子体真空泵由围绕位于入口和出口之间的一个或多个泵送区域的外壳组成; 多个永磁体组件，其提供在入口和出口之间的泵送区域中延伸的磁场，形成用于引导和限制等离子体的磁通通道的磁场; 用于将微波功率耦合到通量通道中以加热电子，离子化气体并在从入口到出口的方向加速等离子体离子的元件; 被设置用于在磁通量通道中产生电的元件，以通过动量传递将通量通道中的离子加速到出口; 以及靠近出口的差分电导挡板，用于促进等离子体离子和中性原子流到出口，同时阻止中性气体分子在从出口朝向入口的方向上的流动。
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公开(公告)号：WO01080281A2
公开(公告)日：2001-10-25
申请号：PCT/US2001/011111
申请日：2001-04-06
CPC classification number: H01J41/18
Abstract: A stand-alone plasma vacuum pump for pumping gas from a low-pressure inlet to a high-pressure outlet, composed of: a housing enclosing one or more pumping regions located between the inlet and the outlet; a plurality of permanent magnet assemblies providing magnetic fields that extend in the pumping region between the inlet and the outlet, the magnetic field forming magnetic flux channels for guiding and confining plasmas; elements disposed for coupling microwave power into the flux channels to heat electrons, ionize gas, and accelerate plasma ions in a direction from the inlet to the outlet; elements disposed for creating an electric in the magnetic flux channels to accelerate ions in the flux channels toward the outlet by momentum transfer; and a differential conductance baffle proximate to the outlet for promoting flow of plasma ions and neutral atoms to the outlet while impeding flow of neutral gas molecules in a direction from the outlet toward the inlet.
Abstract translation: 一种独立的等离子体真空泵，用于将气体从低压入口泵送到高压出口，所述等离子体真空泵由围绕位于入口和出口之间的一个或多个泵送区域的外壳组成; 多个永磁体组件，其提供在入口和出口之间的泵送区域中延伸的磁场，形成用于引导和限制等离子体的磁通通道的磁场; 用于将微波功率耦合到通量通道中以加热电子，离子化气体并在从入口到出口的方向加速等离子体离子的元件; 被设置用于在磁通量通道中产生电的元件，以通过动量传递将通量通道中的离子加速到出口; 以及靠近出口的差分电导挡板，用于促进等离子体离子和中性原子流到出口，同时阻止中性气体分子在从出口朝向入口的方向上的流动。
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