公开(公告)号：WO1991002375A1

公开(公告)日：1991-02-21

申请号：PCT/EP1990000611

申请日：1990-04-17

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ... ,  RICHTER, Axel ,  SANDMEIER, Herrmann

Inventor： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ...

IPC: H01J41/18

CPC classification number: H02N11/006 ,  B05B5/16 ,  F04D33/00 ,  H01J41/18

Abstract: An electrostatic pump has two electrodes (13) spaced at a distance apart essentially in the direction of flow through the pump. A potential can be applied to the electrodes (13) in order to inject an ion current between them. The pump is further microminiaturized by arranging two semiconductor bodies (10) one above the other in the direction of flow through the pump. The semiconductor bodies are structured in such a way that the electrodes (13) form an integral component of the semiconductor bodies (10).

Abstract translation: 静电泵具有两个电极（13），其间隔开的距离基本上在通过泵的流动方向上。 为了在它们之间注入离子电流，可以对电极（13）施加电位。 通过在流过泵的方向上一个在另一个上方布置两个半导体本体（10），使泵进一步微小化。 半导体体的结构使电极（13）形成半导体本体（10）的一体成分。