公开(公告)号：WO2005098903A1

公开(公告)日：2005-10-20

申请号：PCT/JP2005/006742

申请日：2005-04-06

Applicant: センエンジニアリング株式会社 ,  ハイ カレント エレクトロニクス インスティテュート ,  ロマイエフ,ミハエル アイ. ,  リーシェンコ,アンドレイ エイ. ,  スカクーン,ヴィクトル エス. ,  シュッツ,ドミトリ ブイ. ,  タラシェンコ,ヴィクトル エフ. ,  松本 好家

Inventor： ロマイエフ，ミハエル アイ． ,  リーシェンコ，アンドレイ エイ． ,  スカクーン，ヴィクトル エス． ,  シュッツ，ドミトリ ブイ． ,  タラシェンコ，ヴィクトル エフ． ,  松本 好家

IPC: H01J65/00

CPC classification number: H01J65/046 ,  H01J61/06 ,  H01J61/35 ,  H01S3/0381 ,  H01S3/0382 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225

Abstract: An anode electrode (10) is composed of a long straight cylinder-shaped body, and the outer circumference of the cylinder-shaped body is covered with a dielectric (12). A cathode part (20) has a shape of straight half cylinder. A cathode (25) surrounds the anode, and the anode and the cathode are arranged parallel to one another in the lengthwise direction. The cathode is provided with a cathode wire group (16). In the cathode wire group, both edges of the wire are fixed at both edges (20D) of the half cylinder shaped body constituting the cathode part, in the lengthwise direction, so as to have the plurality of wires parallel to one another. On a surface (20S) of the cathode part on a side that faces the anode, a reflecting plane is formed for reflecting radiation in a vacuum ultraviolet region. Thus, high-intensity light having a wavelength in the vacuum ultraviolet region can be obtained, and an object to be irradiated can be efficiently irradiated with the light.

Abstract translation: 阳极电极（10）由长直筒状体构成，圆筒状体的外周被电介质（12）覆盖。 阴极部（20）具有直半圆柱体的形状。 阴极（25）围绕阳极，并且阳极和阴极在长度方向上彼此平行地布置。 阴极设有阴极线组（16）。 在阴极线组中，电线的两个边沿长度方向固定在构成阴极部分的半圆柱形体的两个边缘（20D）处，以使多条电线彼此平行。 在阴极部分的面对阳极的一侧的表面（20S）上，形成反射平面，用于反射真空紫外区域中的辐射。 因此，可以获得具有真空紫外区域中的波长的高强度光，并且可以用光有效地照射被照射物体。