公开(公告)号：WO2005096335A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：PCT/JP2005/005643

申请日：2005-03-22

Applicant: パイオニア株式会社 ,  パイオニア・マイクロ・テクノロジー 株式会社 ,  酒村 一到 ,  麻生 三郎 ,  埴原 甲二 ,  根岸 伸安 ,  中田 智成 ,  吉川 高正

Inventor： 酒村 一到 ,  麻生 三郎 ,  埴原 甲二 ,  根岸 伸安 ,  中田 智成 ,  吉川 高正

IPC: H01J1/312

CPC classification number: H01J9/022 ,  B82Y10/00 ,  H01J1/312 ,  H01J31/127

Abstract: An electron emitting device is composed of a plurality of electron emitting elements. The electron emitting element is provided with a lower electrode (11) and an upper electrode (15) and emits an electron from an upper electrode side. In the electron emitting device, a space is formed between the electron emitting elements and the upper electrode extends over the space on a bridge part (15a). The space is formed by providing a through hole or a notched part (15a) on the bridge part, and etching a stacked body under the upper electrode by using the bridge part as a mask. The upper electrodes of the adjacent electron emitting elements are electrically connected by the bridge part without bringing the upper electrodes into contact with the electron emitting element side planes and a substrate. Therefore, a current path can be shortened and a possibility of disconnection can be reduced.

Abstract translation: 电子发射器件由多个电子发射元件组成。 电子发射元件设置有下电极（11）和上电极（15），并从上电极侧发射电子。 在电子发射器件中，在电子发射元件之间形成空间，并且上电极在桥接部分（15a）上的空间上延伸。 通过在桥接部上设置通孔或切口部（15a），通过使用桥接部作为掩模，在上部电极下方的层叠体上形成空间。 相邻电子发射元件的上电极通过桥接部电连接，而不会使上电极与电子发射元件侧面和基板接触。 因此，可以缩短电流路径，并且可以降低断开的可能性。