公开(公告)号：WO2006077717A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：PCT/JP2005/023770

申请日：2005-12-26

Applicant: 信越化学工業株式会社 ,  神尾 剛 ,  高野 徹 ,  三好 一美 ,  寺嶋 正美

Inventor： 神尾 剛 ,  高野 徹 ,  三好 一美 ,  寺嶋 正美

IPC: C03B20/00 ,  B09B5/00 ,  C01B33/18 ,  C03B8/04

CPC classification number: C03B19/1446 ,  C01B33/126 ,  C03B19/106

Abstract: 　石英系ガラス原料の気相加水分解反応によりガラス粒子を生成する工程と、ガラス粒子を堆積させて多孔質石英ガラス体を製造する工程と、ガラス粒子の一部をシリカ粉として回収する工程とを含む高純度シリカ製品の製造方法であって、多孔質石英ガラス体を製造する工程から排出されるガラス粒子を含む排ガスをセラミックフィルターを備えた分離装置に導く工程と、セラミックフィルターによりガラス粒子をシリカ粉として分離・回収する工程と、回収したシリカ粉を脱気装置にかけてその嵩密度を０．１～０．７ｇ/ｃｍ ３ とする工程とを含む。

Abstract translation: 一种生产高纯度二氧化硅产品的方法，其中通过石英基玻璃材料的气相水解形成玻璃颗粒的步骤，沉积玻璃颗粒以制备多孔石英玻璃材料的步骤和回收部分 涉及作为二氧化硅粉末的玻璃粒子的工序，包括将从制备多孔石英玻璃材料的步骤排出的玻璃颗粒的废气引入到具有陶瓷过滤器的分离装置的步骤，分离和回收 通过陶瓷过滤器作为二氧化硅粉末的上述玻璃颗粒，以及通过使用脱气装置将回收的二氧化硅粉末转化为堆积密度为0.1至0.7g / cm 3的粉末的步骤 。