光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法
    1.
    发明申请
    光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法 审中-公开
    用于光学扫描的执行器和用于光学扫描的制造执行器的方法

    公开(公告)号:WO2009136637A1

    公开(公告)日:2009-11-12

    申请号:PCT/JP2009/058696

    申请日:2009-05-08

    Abstract:  走査光を出射するミラーのミラー面の面積を小さくすることができ、狭い空間にも配置することが可能な光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法を提供する。この目的のため、板バネと、板バネの一端部を固定する固定部材と、板バネの他端部を保持し、板バネの動きに応じて移動可能な可動部材と、可動部材に取り付けられ、外部から投射された光を反射するミラーと、可動部材およびミラーを揺動させる揺動手段と、を備え、ミラーのミラー面は、固定部材によって固定される板バネの固定端と可動部材によって保持される板バネの自由端との間を通過する平面上に位置することとする。

    Abstract translation: 提供了一种用于光学扫描的致动器,其具有输出扫描光的反射镜的小的镜面积,并且即使在较小的空间中也可以布置。 还提供了一种制造这种用于光学扫描的致动器的方法。 用于光学扫描的致动器设置有板簧; 固定构件,其固定板簧的一个端部; 可动构件,其保持板簧的另一端部并且能够相应于板簧的运动而移动; 附接到可动构件并反射从外部突出的光的反射镜; 以及使可动构件和反射镜摆动的摆动装置。 反射镜的镜面位于由固定构件固定的板簧的固定端和由可动构件保持的板簧的自由端之间的平坦表面上。

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