公开(公告)号：WO2017018778A1

公开(公告)日：2017-02-02

申请号：PCT/KR2016/008157

申请日：2016-07-26

Applicant: 김환남

Inventor： 김환남

IPC: H05B3/48 ,  H05B3/82 ,  H05B3/56 ,  H05B3/10

CPC classification number: H05B3/10 ,  H05B3/48 ,  H05B3/56 ,  H05B3/82

Abstract: 본 발명의 실시 형태는 반도체 설비의 파이프나 튜브 내부의 온도를 일정하게 유지할 수 있도록 파이프나 튜브의 가스관을 감싸는 자켓 히터에 있어서, 상기 가스관을 감싸는 자켓 히터의 외측면인 외측 커버; 상기 가스관에 접하는 자켓 히터의 내측면인 내측 커버; 상기 외측커버와 내측커버 사이에서 상기 외측 커버에 접하여 위치하는 단열재; 상기 단열재와 내측커버 사이에서 상기 단열재에 접하여 위치하며, 외부의 접지 단자와 연결되는 도전성 플레이트; 상기 도전성 플레이트와 내측커버 사이에서 상기 도전성 플레이트에 접하여 위치하는 외측 유리 섬유; 상기 외측 유리 섬유와 내측커버 사이에서 외측 유리 섬유의 표면에 배치되어 열을 발생시키는 발열 열선으로서, 방폭용 금속소재로 구현된 방폭용 열선 케이블; 및 상기 방폭용 열선 케이블의 일끝단에 마련되어 외부 전원으로부터 전력을 제공받는 전력 입력단;을 포함할 수 있다.

Abstract translation: 本发明的一个实施例涉及一种封套加热器，其包围管道或管道气体管道，以便在半导体设备的管道或管道内保持稳定的温度。 护套加热器可以包括：外盖，其包围气体管道并构成护套加热器的外表面; 内盖，其与气体导管接触并构成夹套加热器的内表面; 绝缘体，其布置成在所述外盖和所述内盖之间接触所述外盖; 导电板，其布置成与绝缘体和内盖之间的绝缘体接触，并连接到外部接地端子; 布置在所述导电板和所述内盖之间与所述导电板接触的外玻璃纤维; 作为发热用热线的防爆热电缆，设置在外玻璃纤维和内盖之间的外玻璃纤维的表面上，由防爆金属材料构成; 以及设置在防爆热电缆的一端并从外部电源接收电力的电力输入端子。